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可消除靜電的日本NGK超純水固定裝置介紹

發(fā)布時間:2025-05-12 點擊量:220

用超純水進行精確清潔對于制造半導體零件至關重要。

概述

正常的精度清潔涉及用超純水清潔,幾乎沒有離子成分,這可能會導致靜電,在某些情況下,以下問題可能導致產(chǎn)品缺陷。

  • 由于靜電而導致的電路故障(=靜電損傷)

  • 由于表面電荷和清潔材料的靜電導致細顆粒的重新連接

將二氧化碳氣體溶解在超純水(酸性功能水)中的巨型兆孔解決了由靜電引起的障礙,并有助于減少產(chǎn)品缺陷(提高產(chǎn)量)。

用途

  • 在劃分過程中清潔

  • 高壓噴射清潔

  • 洗滌器清潔

  • 清潔LCD面板

  • 清潔光掩膜和標線

特征

  1. 細顆粒污染的風險較小,二氧化碳消耗較少

  2. 對于反饋控制,可以快速控制目標電阻率值,以防止流速波動。

  3. 進入和離開設備時,超純水的低壓損失

  4. CE標記*可以出口到歐洲的系列

  5. 支持較大的流速(可用的大流量模型)

  • *歐洲(EU)指令中規(guī)定的安全標準和顯示系統(tǒng)

特征

二氧化碳通過膜溶解在超純水中。

RC-1000AD(主架類型)

MegConⅱ+“ PRC系列"模型和規(guī)格

系列機柜類型內(nèi)置空氣泵“ PRC II + - (下面的型號)"
模型標準1000ACD1200ACD2000ACD1220ACD2040ACD
S類型*21000ACD-S1200ACD-S2000ACD-S1220ACD-S2040ACD-S
表現(xiàn)最大流速L/HR10001000200020004000
控制區(qū)域* 1MΩ?cm0.2-2.00.1-0.50.2-2.00.15-1.00.2-2.0
尺寸標準520W x 400d x 1150h毫米
S類型*2520W x 400d x 1415h mm
重量標準65公斤70公斤
S類型*266公斤71公斤
潤濕部分
細胞(二氧化碳氣體簡介部分):PP細胞(二氧化碳氣體簡介部分):PP
材料管道:PVC,刀片軟管管道:PVC
超純水連接直徑RC1/2RC3/4RC1 1/4
公用事業(yè)超純水壓力:正常使用:0.35MPA或更少(最大0.45MPA或更少) /溫度:5-35°C /水質(zhì):10MΩCM或更多
CO 2氣體壓力:0.1-0.2MPA /溫度:5-35°C /純度:99.5%或更多
干空氣
(用于干燥膜)
它不需要空氣泵內(nèi)置。
電源AC100-240V(50/60Hz)
標準配件說明手冊,檢查報告
AC100-120V:電源線2.8m(帶插頭)
AC200-240V:電源線5m(無插頭)
系列機架類型內(nèi)置空氣泵“PRCⅱ + - (下面的型號)"
外部空氣供應類型“FRCⅱ + - (下面的型號)"
模型1000AD1200AD2000AD1220AD
表現(xiàn)最大流速L/HR1000100020002000
控制區(qū)域* 1MΩ?cm0.2-2.00.1-0.50.2-2.00.15-1.0
尺寸480W x 355d x 200H毫米
重量15公斤
潤濕部分細胞(二氧化碳氣體簡介部分):PP
材料管道:PVC,刀片軟管
超純水連接直徑軟管噴嘴(刀片軟管的IDφ19)
公用事業(yè)超純水壓力:正常使用:0.35MPA或更少(最大0.45MPA或更少) /溫度:5-35°C /水質(zhì):10MΩCM或更多
CO 2氣體壓力:0.1-0.2MPA /溫度:5-35°C /純度:99.5%或更多
干空氣
(用于干燥膜)
“ PRC"系列:無需空氣泵
“ FRC"系列:0.1-0.2MPA
電源AC100-240V(50/60Hz)
標準配件說明手冊,檢查報告
AC100-120V:電源線2.8m(帶插頭)
AC200-240V:無電線(連接到端子塊)
  • *1:最小電阻率值是當流速約為500L/hr時達到的值。

  • *2:-s類型帶有帶有蜂鳴器 + callinger和腳輪的兩色燈塔。

  • *即使在瞬時使用的情況下,在0.45MPa或更少的情況下,使用0.35MPa的超純水壓力。

  • *規(guī)格和描述如有更改,恕不另行通知。


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